G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/55 (2006.01) G02B 5/18 (2006.01) G02B 27/44 (2006.01)
Patent
CA 2407721
The present invention provides configurations and a method of formation of optical coupling elements for surface plasmon resonance sensors. In the method of the present invention, interference patterns between two overlapping monochromatic coherent light beams are created on a photosensitive film disposed on a master substrate. At least one of the light beams has an oblique angle of incidence onto the master substrate, and the focal points of the two overlapping light beams are positioned in order to reduce optical aberrations up to third order. After developing the photsensitive film, the surface relief patterns pattern created on the master substrate is replicated as diffractive optical elements onto SPR sensor chips. The diffractive optical elements working as optical coupling elements diffract an incoming light beam into an oblique angle within the range from 40 to ~80 degrees.
L'invention concerne des configurations et un procédé de formation d'éléments de couplage optique destinés aux capteurs à résonance du plasmon de surface. Dans le procédé de la présente invention, on crée sur un film photosensible disposé sur un substrat maître des motifs d'interférence entre deux faisceaux lumineux cohérents monochromatiques qui se chevauchent. Au moins un des faisceaux lumineux a un angle d'incidence oblique sur le substrat maître, et les foyers des deux faisceaux lumineux qui se chevauchent sont positionnés de manière à réduire les aberrations optiques jusqu'au troisième ordre. Après le développement du film photosensible, le motif de surface en relief créé sur le substrat maître est répliqué sous forme d'éléments optiques diffractifs sur les puces des capteurs à résonance du plasmon de surface. Les éléments optiques diffractifs fonctionnant comme des éléments de couplage optique diffractent un faisceau lumineux entrant selon un angle oblique avec une ouverture entre 40 et ~80 degrés.
Pedersen Henrik Chresten
Thirstrup Carsten
Gowling Lafleur Henderson Llp
Vir A/s
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1954139