Defect inspection apparatus and defect inspection method

G - Physics – 01 – N

Patent

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Details

G01N 29/44 (2006.01)

Patent

CA 2647004

Provided is a defect inspecting device for quantitatively evaluating the distribution of defects to occur in an object material. The defect inspecting device comprises an ultrasonic probe, ultrasonic wave transmitting/receiving means for emitting ultrasonic waves through the ultrasonic probe to the surface of the object material having a predetermined transmitting medium, and for receiving the ultrasonic waves scattered by the defects existing in the object material, as noise signals, frequency spectrum calculating means for time-dividing the noise signals with a time width corresponding to the position of the object material in a depth direction, and for calculating a frequency spectrum for each of the time-divided nozzle signals, and defect distribution detecting means for calculating a value indicating the progress of the defect corresponding to the position of the object material in the depth direction, on the basis of the frequency spectrum.

La présente invention concerne un dispositif d'inspection de défauts destiné à évaluer quantitativement la répartition de défauts se trouvant dans un matériau objet. Ledit dispositif comprend une sonde à ultrasons, des moyens d'émission/réception d'ondes ultrasonores destinés à émettre des ondes ultrasonores par l'intermédiaire de ladite sonde vers la surface du matériau objet comportant un milieu émetteur prédéterminé et à recevoir les ondes ultrasonores diffusées par les défauts se trouvant dans ledit matériau, sous forme de signaux de bruit, des moyens de calcul du spectre de fréquence destinés à diviser dans le temps lesdits signaux avec une largeur de temps correspondant à la position dudit matériau dans un sens de la profondeur et à calculer un spectre de fréquence pour chacun des signaux de bruit divisé dans le temps, et des moyens de détection de la répartition des défauts destinés à calculer une valeur indiquant la progression du défaut correspondant à la position dudit matériau dans le sens de la profondeur, sur la base du spectre de fréquence.

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