Defocus and astigmatism compensation in a wavefront...

A - Human Necessities – 61 – B

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Details

A61B 3/10 (2006.01) A61B 3/103 (2006.01) G01J 9/00 (2006.01) G02B 17/06 (2006.01) G02B 27/00 (2006.01)

Patent

CA 2445289

Defocus and astigmatism compensation methods and apparatuses for use in an aberration measurement system. The apparatuses including reflectors for altering the optical distance between a pair of lenses passing a wavefront without changing the physical distance between the lenses, thereby compensating for defocus in the wavefront; and cylindrical mirrors for adding and removing curvature from a curved wavefront, thereby compensating for a stigmatism in the wavefront. The methods including passing a wavefront having defocus through a first lens on a first path, reflecting the wavefront from the first path to a second path, reflecting the wavefront from the second path to a third path, and passing the wavefront through a second lens as a defocus compensated wavefront; passing a wavefront through first and second cylindrical lens, and orienting the first and second cylindrical lenses with respect to the wavefront and to one another to compensate for astigmatism in the wavefront.

La présente invention concerne des procédés et des appareils de compensation de la défocalisation et de l'astigmatisme destinés à être utilisés dans un système de mesure des aberrations. Les appareils comprennent des réflecteurs prévus pour altérer la distance optique entre une paire de lentilles traversées par un front d'onde sans changer la distance physique entre les lentilles, ceci compensant la défocalisation du front d'onde ; et des miroirs cylindriques qui renforcent ou éliminent la courbure d'un front d'onde courbe, ceci compensant l'astigmatisme du front d'onde. Les procédés consistent à envoyer un front d'onde présentant une défocalisation, à travers une première lentille sur un premier chemin, à réfléchir le front d'onde du premier chemin sur un deuxième chemin, à réfléchir le front d'onde du deuxième chemin sur un troisième chemin, puis à envoyer le front d'onde à travers une deuxième lentille sous forme d'un front d'onde à défocalisation compensée, et enfin à envoyer le front d'onde à travers des première et deuxième lentilles cylindriques et à orienter les première et deuxième lentilles cylindriques par rapport au front d'onde et l'une par rapport à l'autre pour compenser l'astigmatisme du front d'onde.

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