Deposition process for a protective amorph inorganic coating...

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

204/91.8

C23C 16/48 (2006.01) B05D 3/06 (2006.01) B05D 7/02 (2006.01) C08J 7/06 (2006.01) C23C 16/30 (2006.01) C23C 16/32 (2006.01) C23C 16/34 (2006.01)

Patent

CA 2025171

Procédé pour la réalisation d'un dépôt d'un revêtement protecteur inorganique et amorphe sur un substrat polymériéque organique, ce revêtement étant canstitué de composés sous forme d'oxyde, nitrure, carbure, ou alliages de ces composés, par décomposition photosensibilisée en phase gazeuse. Selon l'invention, ce procédé consiste à utiliser la décomposition photosensibilisée d'un milieu gazeux incluant les précurseurs des éléments constituant le dépôt du revêtement protecteur inorganique amorphe à réaliser par excitation photonique d'une impureté préalablement introduite dans le milieu, propre à réaliser un transfert indirect d'énergie aux molécules de celui-ci, de manière à permettre la décomposition puis le dépôt de ces éléments sur le substrat. L'invention concerne également un réacteur adapté à la mise en oeuvre de ce procédé.

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