Device and method for evaluating cleanliness

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 21/35 (2006.01) G01N 21/94 (2006.01)

Patent

CA 2670775

The device 1 comprises a floodlight unit 20 and a receiver unit 30 and a processing unit 40. The floodlight unit 20 applies an infrared light to the surface of a workpiece 50, and comprises a surface light source 21 and a focusing lens 23. The receiver unit 30 receives the infrared light reflected from the surface of the workpiece 50, and comprises a receiver sensor 31 and a filter 33, which passes the infrared light that has the wavelength which contaminants 51 on the surface absorb. The processing unit 40 evaluates the cleanliness of the surface of the workpiece 50 according to the absorbance of the infrared light reflected from the surface. And a receiving area Rb of the reflected infrared light from the surface is set smaller than an applying area Ra of the applied infrared light to the surface.

Le dispositif 1 est constitué d'une unité de projecteur 20 et d'une unité de récepteur 30 et d'une unité de traitement 40. L'unité de projecteur 20 applique une lumière infrarouge sur la surface d'une pièce de travail 50 et elle comprend une source de lumière de surface 21 et une lentille de focalisation 23. L'unité de récepteur 30 reçoit la lumière infrarouge réfléchie à partir de la surface de la pièce de travail 50 et elle comprend un détecteur 31 et un filtre 33 de récepteur, qui passe la lumière infrarouge qui a la longueur d'onde que les contaminants 51 sur la surface absorbent. L'unité de traitement 40 évalue la propreté de la surface de la pièce de travail 50 selon l'absorbance de la lumière infrarouge réfléchie à partir de la surface. Et une zone de réception Rb de la lumière infrarouge réfléchie à partir de la surface est réglée à une taille inférieure à une zone d'application Ra de la lumière infrarouge appliquée sur la surface.

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