G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 5/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) G01G 3/16 (2006.01) G01N 27/447 (2006.01) G01N 33/483 (2006.01) G01N 33/543 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/335 (2006.01)
Patent
CA 2530607
An exemplary micro or nano-electromechanical analyte detection device (100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900) includes a cantilever (106, 108, 110, 140, 208, 302, 320, 402, 502, 602, 604, 902), nano-wire (702, 824), or other suspended member (330) for detecting selected biological or chemical species (132, 304, 618) based on the change in resonant frequency, surface stress, or other characteristic of the suspended member upon interaction of a selected analyte. Dielectrophoresis is utilized to concentrate a selected analyte, for example at the free end (142, 306, 610, 612, 904) of the cantilever or other suspended member. The suspended member may also include a region (404, 510, 824) of a transistor (512), for example a channel of a field affect transistor to provide on chip electronic detection of selected analytes. Integrated devices having an array of suspended members for detecting selected analytes located within a fluid channel (104) are also disclosed as well as methods of use and methods of fabrication of the exemplary integrated devices.
Un dispositif de détection d'une substance à analyser micro ou nano-électromécanique (100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900) comprend un levier (106, 108, 110, 140, 208, 302, 320, 402, 502, 602, 604, 902), un nano-câble (702, 824) ou un autre élément suspendu (330) permettant de détecter des spécimens biologiques ou chimiques sélectionnés (132, 304, 618) d'après la modification de fréquence de résonance, de contrainte de surface ou d'autre caractéristique de l'élément suspendu après interaction d'une substance à analyser sélectionnée. La diélectrophorèse sert à concentrer une substance à analyser sélectionnée, par exemple au niveau de l'extrémité libre (142, 306, 610, 612, 904) du levier ou d'un autre élément suspendu. L'élément suspendu peut également comprendre une région (404, 510, 824) d'un transistor (512), par exemple un canal d'un transistor à effet de champ afin d'obtenir une détection électronique à puce de substances à analyser sélectionnées. Les dispositifs intégrés présentant un réseau d'éléments suspendus destinés à détecter des substances à analyser sélectionnées se trouvant dans un canal de fluide (104) font également l'objet de cette invention ainsi que les procédés d'utilisation et des procédés de fabrication des dispositifs intégrés de cette invention.
Bashir Rashid
Denton John P.
Elibol Oguz H.
Gupta Amit Kumar
Morisette Dallas T.
Purdue Research Foundation
Smart & Biggar
LandOfFree
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