G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 60/18 (2010.01)
Patent
CA 2194268
The optical monitoring of a standing wave by an optical probe (5) in the region of the overlap between an incident and reflected monochromatic light beam in the region of the surface of a substrate consisting of a transparent (2) and an opaque (1) layer facilitates an optical holographic image with improved lateral resolution. The lateral resolution is limited by the optical fields in the edge region of the probe (11) and not directly by the expansion of the probe aperture. The lateral resolution is additionally increased by the one-sided coating of the probe and narrowing the probe aperture in the direction of the incident light beam.
Le contrôle optique d'une onde permanente par une sonde optique (5) dans une région de recouvrement d'un faisceau lumineux monochromatique incident et réfléchi, au voisinage de la surface d'un substrat comprenant une couche transparente (2) et une couche opaque (1), permet d'obtenir une image holographique à résolution latérale accrue. La résolution latérale est limitée par la profondeur de pénétration des champs optiques dans la région marginale de la sonde (11), et non directement par l'élargissement de l'ouverture de la sonde. La résolution latérale est davantage accrue par un revêtement de la sonde sur une face et une réduction de l'ouverture en direction du faisceau lumineux incident.
Bacsa Wolfgang
Marks & Clerk
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1568839