Device for the production of plasmas by microwaves

Details Device for the production of plasmas by microwaves Device for the production of plasmas by microwaves

H - Electricity

05

H

H05H 1/46 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)

Patent

CA 2241886

The invention relates to a device for the production of microwave plasmas with a microwave generator (1) and a wave guide resonator (5) which comprises a plasma chamber (7). The short side of the cross-section of the resonator (5) is turned to be parallel to the axis y and is in a common wall with the chamber (7). The microwave power from the resonator (5) is coupled into the chamber (7) at coupling points (6) in said short cross section side. The coupling points are preferably in the form of azimuthal slot couplers in the common wall of (5) and (7).

Dispositif pour produire des plasmas par hyperfréquence au moyen d'un générateur d'hyperfréquence (1) et de son accouplement à un résonateur à guide d'ondes (5) comprenant une chambre à plasma (7). Le petit côté de la section du résonateur (5) est situé dans la paroi commune avec la chambre (7), et orienté de façon parallèle à l'axe z. La puissance hyperfréquence provenant du résonateur (5) est couplée dans la chambre (7), par l'intermédiaire de points de couplage (6) situés dans ce petit côté de la section. Les points de couplage se présentent de préférence sous forme de coupleurs à fente azimutaux dans la paroi commune à (5) et (7).

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