H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 29/84 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) G11C 13/02 (2006.01)
Patent
CA 2515724
Electro-mechanical switches and memory cells using vertically-disposed nanofabric articles and methods of making the same are described. An electro- mechanical device, includes a structure having a major horizontal surface and a channel formed therein. A conductive trace is in the channel; and a nanotube article vertically suspended in the channel, in spaced relation to a vertical wall of the channel. The article is electro-mechanically deflectable in a horizontal direction toward the conductive trace. Under certain embodiments, the vertically suspended extent of the nanotube article is defined by a thin film process. Under certain embodiments, the vertically suspended extent of the nanotube article is about 50 nanometers or less. Under certain embodiments, the nanotube article is clamped with a conducting material disposed in porous spaces between some nanotubes of the nanotube article. Under certain embodiments, the nanotube article is formed from a porous nanofabric. Under certain embodiments, the nanotube article is electromechanically deflectable into contact with the conductive trace and the contact is either a volatile state or non-volatile state depending on the device construction. Under certain embodiments, the vertically oriented device is arranged into various forms of three-trace devices. Under certain embodiments, the channel may be used for multiple independent devices, or for devices that share a common electrode.
Cette invention porte sur des commutateurs électromécaniques et des cellules de mémoire utilisant des articles en nanotissu disposés à la verticale ainsi que sur des procédés de production correspondants. Un dispositif électromécanique présente une structure comprenant une surface horizontale principale et une voie formée dans cette surface. Une trace conductrice se trouve dans la voie et un article de nanotubes est suspendu à la verticale dans la voie de manière qu'il soit éloigné d'un mur vertical de la voie. L'article peut être déformé de façon électromécanique dans une direction horizontale en direction de la trace conductrice. Dans certains modes de réalisation, l'étendue suspendue à la verticale de l'article de nanotubes est définie par un procédé en couche mince. Dans certains modes de réalisation, l'étendue suspendue à la verticale de l'article de nanotubes est inférieure ou égale à environ 50 nanomètres. Dans certains modes de réalisation, l'article de nanotubes est serré à l'aide d'un matériau conducteur disposé dans des espaces poreux entre certains nanotubes de l'article de nanotubes. Dans certains modes de réalisation, l'article de nanotubes est formé à partir d'un nanotissu poreux. Dans certains modes de réalisation, l'article de nanotubes peut être déformé de façon électromécanique de façon qu'il touche la trace conductrice et le contact est soit un état volatil, soit un état non volatil, selon la construction du dispositif. Dans certains modes de réalisation, le dispositif orienté à la verticale est conçu en différentes formes de dispositifs à trois traces. Dans certains modes de réalisation, la voie peut être utilisée pour de multiples dispositifs indépendants ou pour des dispositifs qui partagent une électrode commune.
Jaiprakash Venkatachalam C.
Rueckes Thomas
Segal Brent M.
Ward Jonathan W.
Nantero Inc
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1756888