Diamond-like carbon coated transducers for magnetic...

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/22 (2006.01) G11B 5/10 (2006.01) G11B 5/255 (2006.01) G11B 5/31 (2006.01) G11B 5/40 (2006.01)

Patent

CA 2184737

A method is provided for manufactur- ing a diamond-like carbon coated magnetic transducer assembly with superior wear re- sistance, and improved lifetime. The in- vention discloses a magnetic transducer with a composite coating structure including an adhesion-enhancing a first interlayer contain- ing silicon and an ion beam deposited DLC top layer. According to the method, the sur- face of the magnetic transducer substrate sur- face (3) is bombarbed with energetic ions from an ion source (4) to preform sputter etching, a silicon containing interlayer is de- posited utilizing an ion beam source (7) and a target (10) to sputter deposit the interlayer, and following completion of the deposition of the interlayer a DLC top layer is deposited by ion beam deposition.

Cette invention se rapporte à un procédé pour fabriquer des ensembles transducteurs magnétiques revêtus de carbone proche du diamant, ces transducteurs ayant une plus grande résistance à l'usure et une durée de vie accrue. Sont décrits des transducteurs magnétiques ayant une structure de revêtement composite, constituée par une première couche intermédiaire améliorant l'adhérence, contenant du silicium, et par une couche supérieure de carbone proche du diamant, déposée par faisceaux ioniques. Selon le procédé décrit, la surface du substrat (3) du transducteur magnétique est bombarbée par des ions énergétiques provenant d'une source d'ions (4), afin de réaliser une attaque par pulvérisation cathodique, une couche intermédiaire contenant du silicium est déposée au moyen d'une source de faisceaux d'ions (7) et d'une cible (10), afin de déposer par pulvérisation cathodique ladite couche intermédiaire, et, une fois terminé le dépôt de la couche intermédiaire, une couche supérieure de carbone proche du diamant est déposée par faisceaux d'ions.

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