Diamond surface acoustic wave devices and associated method

Details Diamond surface acoustic wave devices and associated method Diamond surface acoustic wave devices and associated method

H - Electricity

01

L

H01L 41/00 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01)

Patent

CA 2202093

A high frequency Surface Acoustic Wave (SAW) device includes a highly oriented diamond layer adjacent a piezoelectric layer. In one embodiment, laterally spaced apart piezoelectric layers or portions confine propagation of the wave within the diamond layer. Interdigitated electrodes may be provided by electrically conductive metal lines and/or by heavily doped surface portions of the diamond layer. Undesirable reflections may be reduced by providing the piezoelectric layer with opposing ends canted at an angle from orthogonal to the axis of surface acoustic wave propagation. The surface acoustic wave device may be used as a filter, amplifier, convolver, and phase shifter. Methods for making the surface acoustic wave device are also disclosed.

Un dispositif à ondes acoustiques de surface H.F. inclut une couche en diamant hautement orientée placée contre une couche piézo-électrique. Selon l'une des réalisations, des couches ou des parties de couches piézo-électriques latéralement éparses confinent la propagation de l'onde dans la couche en diamant. Des électrodes interdigitées peuvent être réalisées sous forme de lignes de métal électro-conducteur et/ou sous forme de parties de surface de la couche en diamant fortement dopée. Il est possible d'atténuer les réflexions parasites en chanfreinant les extrémités opposées de la couche piézo-électrique selon un angle déviant de la perpendiculaire de l'axe de propagation de l'onde acoustique de surface. Ce dispositif à ondes acoustiques de surface peut servir de filtre, d'amplificateur, de convoluteur et de déphaseur. L'invention concerne également des procédés de fabrication du dispositif à ondes acoustiques de surface.

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