G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2709495
A diaphragm pressure measuring cell arrangement has a housing body at least partly made of sapphire material and a planar sapphire diaphragm with a peripheral edge joined by a first edge seal to the housing body to form a reference vacuum chamber. An outer surface of the diaphragm is exposed to a medium to be measured. A ceramic supporting body is attached to the back side of the housing body by sealing glass and includes a surface area overhanging that surrounds the housing body to form a first sealing surface. A tubular sensor casing incorporates the measuring cell for mounted the ceramic support body, the casing including an inside second surrounding sealing surface corresponding to the first sealing surface. A metal ring seal is between the sealing surfaces and a pressing member presses sealing surfaces together.
Cet agencement de cellule de mesure de pression à membrane comprend : un corps de boîtier (2) au moins pour partie en saphir ; et une membrane en saphir (6) pourvue d'une zone de bord périphérique qui est assemblée par une première garniture d'étanchéité (8) au corps de boîtier (2) afin de former une chambre à vide de référence (5). Une surface extérieure de la membrane (6) est exposée à un fluide à mesurer. Un corps support céramique (1) est disposé sur le côté arrière du corps de boîtier (2) avec du verre de soudure, et il présente une face en porte-à-faux qui entoure le corps de boîtier (2) et forme une première surface d'étanchéité. Un boîtier tubulaire de cellule de mesure (19) reçoit la cellule de mesure montée sur le corps support céramique (1), le boîtier de cellule de mesure (19) présentant à l'intérieur une surface d'étanchéité entourante (35) qui est en correspondance avec la première surface d'étanchéité. Une garniture d'étanchéité annulaire métallique (18) est disposée entre les surfaces d'étanchéité, des moyens de poussée (20) étant prévus pour presser les surfaces d'étanchéité l'une contre l'autre.
Antila Jarkko
Berner Walter Christian
Bjorkman Per
Duplain Gaetan
Manselin Tove
Fetherstonhaugh & Co.
Inficon Gmbh
LandOfFree
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