H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 65/00 (2006.01) H01J 5/48 (2006.01) H01J 5/50 (2006.01) H01J 5/54 (2006.01) H01J 61/02 (2006.01) H01J 65/04 (2006.01)
Patent
CA 2486200
An elongated dielectric barrier discharge lamp with outer and inner electrodes has a tube that is arranged on the lamp stand end of the discharge vessel and that surrounds said lamp stand. Said tube serves to receive a seal in order to install the lamp in a process chamber in a gastight manner. Power supply of the outer electrodes is separated from the power supply for the inner electrodes coming out of the lamp stand by means of the above-mentioned tube. This makes it possible to prevent effectively parasitic discharges between the power supplies which are applied at different potentials during operation also in process chambers under negative pressure.
La présente invention concerne une lampe à décharge à barrière diélectrique allongée comprenant des électrodes externes et internes. Cette lampe présente un tube qui est appliqué à l'extrémité côté pied de lampe de l'enceinte de décharge et entoure le pied de la lampe. Ce tube sert à recevoir un joint permettant d'installer la lampe dans une chambre de processus de manière étanche aux gaz. L'alimentation en courant de l'électrode externe traversant ledit tube est distincte de l'alimentation en courant de l'électrode interne, conduisant hors du pied de la lampe. Cette invention permet ainsi d'éviter efficacement, même dans des chambres de processus à dépression, l'apparition de décharges parasites entre les alimentations en courant se trouvant à des potentiels différents lorsqu'elles sont en service.
Kling Rainer
Wittkoetter Reinhold
Patent-Treuhand-Gesellschaft Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1515299