Direct silicon or reactive metal casting

Details Direct silicon or reactive metal casting Direct silicon or reactive metal casting

C - Chemistry, Metallurgy

30

B

C30B 28/14 (2006.01) C01B 33/02 (2006.01)

Patent

CA 2725104

A method for producing solid multicrystalline silicon ingots or wafers, comprising: introducing a silicon-bearing gas into a reactor chamber, wherein the reaction chamber includes a reactor chamber wall having (i) an inside surface facing a reaction space and (11) an opposing outside surface, and a product outlet; generating a plasma in the reactor space, thermally decomposing the silicon-bearing gas by subjecting the silicon- bearing gas to a sufficient temperature to produce liquid silicon; maintaining the inside surface of the reactor chamber wall at an equilibrium temperature below the melting point temperature of silicon while thermally decomposing the silicon-bearing gas; and introducing the liquid silicon from the product outlet directly into a module for casting the liquid silicon into solid multicrystalline silicon ingots or multicrystalline silicon wafer.

L'invention porte sur un procédé de fabrication de lingots ou de tranches de silicium multicristallin solide, comprenant : l'introduction d'un gaz porteur de silicium dans une chambre de réaction, la chambre de réaction comprenant une paroi de chambre de réaction ayant (i) une surface intérieure tournée vers un espace de réaction et (ii) une surface extérieure opposée, et une sortie de produit; la génération d'un plasma dans l'espace de réaction, la décomposition thermique du gaz porteur de silicium effectuée en soumettant le gaz porteur de silicium à une température suffisante pour produire du silicium liquide; le maintien de la surface intérieure de la paroi de chambre de réaction à une température d'équilibre au-dessous de la température de point de fusion du silicium tout en décomposant thermiquement le gaz porteur de silicium; et l'introduction du silicium liquide provenant de la sortie de produit directement dans un module pour couler le silicium liquide en des lingots ou tranches de silicium multicristallin solide.

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