Dispensing pump for epoxy encapsulation of integrated circuits

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 21/56 (2006.01) B05C 5/02 (2006.01) B05C 11/10 (2006.01) H01L 21/77 (2006.01)

Patent

CA 2230821

A dispensing pump for dispensing liquid, particularly suitable for dispensing two-part epoxy for encapsulation of integrated circuits, includes a pumping chamber in communication with a nozzle via a three way valve, the pumping chamber including an outlet, an internal volume, a pair of spaced directional seals located away from the outlet, an open volume reciting between the seals and an external port opening the open volume to atmosphere. A stepped plunger extends axially within the pumping chamber, with a first portion sized to be received and aligned through the first directional seal, the plunger being movable to move the first portion toward the outlet to close off the internal volume at the second seal. The second portion of the plunger is relatively smaller in transverse cross-sectional dimension than the inside diameter of the second seal, to cooperate with the port to promote fluid removal from the internal volume during initial filling and priming of the pumping chamber. Once filled and primed, the plunger causes positive volume displacement of liquid from the pumping chamber and out of the nozzle, with very good repeatability and high fluid flow rates, independent of material viscosity, and/or temperature or viscosity changes. For refilling, the plunger is retracted from a volume which corresponds to the volume of material refilled into the internal volume.

Cette invention concerne une pompe doseuse de liquide adaptée en particulier à la distribution de résine époxyde deux composants servant à l'encapsulation de circuits intégrés et comprenant une chambre de pompage communiquant via un robinet trois voies avec une buse de distribution, la dite chambre ayant une sortie, un volume intérieur, une paire d'obturateurs directionnels en retrait de la sortie précitée, un volume ouvert entre les obturateurs et un orifice mettant le volume ouvert en communication avec l'atmosphère. Un piston à gradins se prolonge axialement dans la chambre de pompage, sa première partie étant dimensionnée pour pouvoir passer en alignement dans le premier obturateur directionnel. Ce piston est mobile vers la sortie susmentionnée de sorte que sa première partie ferme le volume intérieur à la hauteur du second obturateur. La deuxième partie du piston présente une section transversale relativement inférieure au diamètre intérieur du second obturateur pour favoriser l'expulsion du contenu liquide de volume intérieur au remplissage et amorçage initial de la chambre de pompage. Une fois le remplissage et l'amorçage réalisés, le piston refoule intégralement le liquide présent dans la chambre de pompage à un débit élevé et très constant indépendamment de la viscosité de la matière et/ou de la température ou des variations de viscosité. Pour remplir à nouveau la chambre de pompage, le piston est retiré à une distance qui correspond au volume de matériau à être aspiré dans le volume intérieur.

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