Driving method for electrostatic actuators

H - Electricity – 02 – N

Patent

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Details

H02N 1/00 (2006.01) F15C 5/00 (2006.01)

Patent

CA 2349842

An electrostatic actuator device and method for actuating the device. The device includes a pair of actuator plates having electrodes for conducting a voltage potential thereto and at least one of the pair being movable with respect to the other. The plates are positioned to move upon application of a voltage potential through electrodes attached thereto. A driving means provides a voltage potential to the electrodes to cause the movement of the at least one plate. The driving means produces compound AC signal with rise/fall sections at least to 100 times (preferably more than twenty times) the mechanical response time of the actuator. The preferred AC signals are selected from square-wave, sine wave, triangle wave and mixtures thereof. The preferred circuit produces rise/fall sections that are a quarter of a full period of the AC wave signal, and only the nominal section of the compound AC signal is used for driving the actuator.

L'invention concerne un dispositif de commande électrostatique et un procédé d'attaque de ce dispositif qui comprend une paire de plaques de commande, l'une étant mobile par rapport à l'autre, ayant des électrodes permettant d'acheminer un potentiel de tension sur ces plaques. Les plaques sont disposées de manière à se déplacer sous l'effet d'un potentiel de tension appliqué à travers les électrodes qui y sont fixées. Des moyens d'attaque fournissent un potentiel de tension aux électrodes ce qui entraîne le mouvement d'au moins une des plaques. Ils génèrent ensuite un signal de courant alternatif composite présentant des sections de montée/descente d'au moins 10 à 100 fois (de préférence plus de 20 fois) celles du temps de réaction mécanique du dispositif de commande. Les signaux de courant alternatif préférés sont sélectionnés dans des signaux en onde carrée, de signaux sinusoïdaux, des signaux triangulaires ou leurs mélanges. Le circuit préféré produit des sections de montée/descente qui représentent un quart de la période complète du signal en onde de courant alternatif. Seule la section nominale du signal de courant alternatif composite est utilisée pour attaquer le dispositif de commande.

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