F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – C
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
C
F04C 25/02 (2006.01) H01J 27/00 (2006.01) H01J 37/18 (2006.01)
Patent
CA 2234031
A dual walled exhaust assembly (28) is provided for an ion implantation system for connecting system components residing at differing voltage potentials. The assembly comprises a disposable corrugated inner tube (84) connected between inner mounting portions of a first end mount and a second end mount and a permanent outer tube (82) connected between outer mounting portions of the first and second end mounts. The inner and outer tubes (84 82) are constructed from polytetrafluoroethylene (PTFE) or some similar dielectric material with appropriate non-flammable properties. The inner corrugated surface of the tube (84) has a plurality of surfaces which are pitched downwardly toward an axis (87) of the inner tube to prevent contaminant accumulation. The corrugated surface also reduces the risk of arcing between the system components residing at differing voltage levels by effectively increasing the length of the ground path that a leakage current would need to traverse across the length of the tube. The outer tube provides a containment mechanism for containing the toxic effluent if the thinner inner wall should puncture perhaps due to electrical discharge which might still occur as aresult of contaminant build-up on the inner surface of the inner tube.
Cette invention concerne un tube d'évacuation à double paroi (28) destiné à une pompe à vide d'implanteur ionique et servant à raccorder des éléments à potentiels électriques différents. L'objet de l'invention se compose d'un tube intérieur ondulé jetable (84) raccordé entre les portées de montage intérieures d'une première fixation d'extrémité et d'une seconde fixation d'extrémité, et d'un tube extérieur permanent (82) raccordé aux portées de montage extérieures des deux fixations d'extrémité. Les tubes intérieur et extérieur (82, 84) sont en polytétrafluoréthylène (PTFE) ou un autre matériau diélectrique similaire à propriétés d'ininflammabilité suffisantes. La surface intérieure ondulée du tube (84) comporte plusieurs surfaces inclinées vers le bas en direction d'un axe (87) dudit tube pour éviter l' accumulation de contaminants. Cette surface ondulée réduit également les risques de formation d'arcs électriques entre les éléments du système à potentiels différents, l'ondulation ayant pour effet d'allonger le trajet devant être suivi par un courant de fuite d'un bout à l'autre du tube. Le tube extérieur constitue une enceinte de confinement des effluents toxiques dans l'éventualité de la perforation du tube intérieur par une décharge électrique toujours susceptible de se produire à cause de l'accumulation de contaminants sur la surface intérieure dudit tube intérieur.
Denholm A. Stuart
Quill James P.
Verrier Kevin R.
Axcelis Technologies Inc.
Borden Ladner Gervais Llp
Corporation Eaton
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1344504