G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 20/02 (2010.01) G01Q 60/34 (2010.01) G01B 9/02 (2006.01)
Patent
CA 2746147
A dynamic probe detection system (29,32) is for use with a scanning probe microscope of the type that includes a probe (18) that is moved repeatedly towards and away from a sample surface. As a sample surface is scanned, an interferometer (88) generates an output height signal indicative of a path difference between light reflected from the probe (80a,80b,80c) and a height reference beam. Signal processing apparatus monitors the height signal and derives a measurement for each oscillation cycle that is indicative of the height of the probe. This enables extraction of a measurement that represents the height of the sample, without recourse to averaging or filtering,that may be used to form an image of the sample. The detection system may also include a feedback mechanism that is operable to maintain the average value of a feedback parameter at a set level.
L'invention porte sur un système (29, 32) de détection de sonde dynamique destiné à être utilisé avec un microscope en champ proche du type comprenant une sonde (18) qui est rapprochée et éloignée de manière répétée d'une surface d'échantillon. Au fur et à mesure que la surface de l'échantillon est balayée, un interféromètre (88) produit un signal de sortie de hauteur qui indique une différence de trajet entre la lumière réfléchie par la sonde (80a, 80b, 80c) et le faisceau de référence de hauteur. Un appareil de traitement de signaux surveille le signal de hauteur et en dérive une mesure pour chaque cycle d'oscillation qui indique la hauteur de la sonde. Ceci permet d'extraire une mesure qui représente la hauteur de l'échantillon, sans avoir à recourir à une moyenne ou à un filtrage, que l'on peut utiliser pour former une image de l'échantillon. Le système de détection peut aussi comprendre un mécanisme de rétroaction utilisé pour maintenir à une valeur de consigne la valeur moyenne d'un paramètre de rétroaction.
Bennett Jones Llp
Infinitesima Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2076001