G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/00 (2006.01) B41C 1/14 (2006.01) G03F 1/00 (2006.01) G03F 7/12 (2006.01) H01L 27/32 (2006.01)
Patent
CA 2329412
An elastomeric mask is provided that allows deposition of a variety of materials through mask openings. The mask seals effectively against substrate surfaces, allowing simple deposition from fluid phase, gas phase, and the like or removal of material using gaseous or liquid etchants. The mask then can be simply peeled from the surface of the substrate leaving the patterned material behind. Multi-layered mask techniques are described in which openings in an upper mask allow selected openings of a lower mask to remain unshielded, while other openings of the lower mask are shielded. A first deposition step, followed by re-orientation of the upper mask to expose a different set of lower mask openings, allows selective deposition of different materials in different openings of the lower mask. Pixelated organic electroluminescent devices are provided via the described technique.
Un masque élastomérique permettant de déposer une diversité de matériaux à travers ses ouvertures est proposé. Le masque étanchéifie effectivement les surfaces du substrat, permettant de déposer aisément de la phase liquide, de la phase gazeuse ou autre, ou d'enlever du matériau à l'aide d'agents d'attaque chimiques, liquides ou gazeux. Le masque peut ensuite être simplement décollé de la surface du substrat laissant le matériau injecté derrière lui. Des techniques utilisant plusieurs couches de masques sont décrites dans lesquelles des ouvertures dans un masque supérieur permettent que certaines ouvertures sélectionnées dans un masque inférieur soient protégées et d'autres non. Une première étape de déposition suivie par une réorientation du masque supérieur pour exposer un autre ensemble d'ouvertures du masque inférieur permet une déposition sélective de différents matériaux dans diverses ouvertures du masque inférieur. La technique décrite permet de produire des dispositifs électroluminescents organiques pixelisés.
Duffy David C.
Jackman Rebecca J.
Jensen Klavs F.
Vaeth Kathleen M.
Whitesides George M.
Massachusetts Institute Of Technology
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
President And Fellows Of Harvard College
LandOfFree
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