Elastomeric micro electro mechanical systems

B - Operations – Transporting – 06 – B

Patent

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Details

B06B 1/02 (2006.01) G01H 11/06 (2006.01) H02N 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2218876

An electromechanical transducer having a substrate (4) bearing a plurality of elastomeric microstructures (5) with a microelectrode (6) on each microstructure. A power supply (11) is connected to the microelectrodes for controlled application to them of an electrical potential which alternately induces forces of attraction between adjacent pairs of microelectrodes, causing controlled, time-varying displacement of the microelectrodes. Alternatively, a further plurality of microelectrodes (14), or one or more macroelectrodes (32), are elastomerically supported above the microelectrodes, with the power supply being connected to the macroelectrode(s) such that the electrical potential applied between the microelectrodes and macroelectrode(s) alternately induces forces of attraction between the microelectrodes and macroelectrode(s), causing controlled, time-varying displacement of the microelectrodes relative to the macroelectrode(s). The macroelectrode(s) can also be applied to a side of the substrate opposite the microstructures.

La présente invention concerne un transducteur électromécanique dont le substrat (4) supporte plusieurs microstructures élastomères (5), une micro-électrode (6) étant montée sur chaque microstructure. Une alimentation (11) est reliée aux micro-électrodes pour leur appliquer de façon contrôlée un potentiel électrique qui induit alternativement des forces d'attraction entre des paires voisines de micro-électrodes, ce qui déplace celles-ci d'une manière contrôlée et variant avec le temps. En variante, un autre jeu de micro-électrodes (14) ou bien une ou plusieurs macro-électrodes (32) sont supportés au-dessus des micro-électrodes par un élastomère. L'alimentation est alors reliée à la ou aux macro-électrodes de telle façon que le potentiel électrique appliqué entre les micro-électrodes et la ou les macro-électrodes induise alternativement des forces d'attraction entre les micro-électrodes et les macro-électrodes, ce qui a pour effet un déplacement, contrôlé et variant avec le temps, des micro-électrodes par rapport à la ou aux macro-électrodes. La ou les macro-électrodes peuvent aussi se trouver sur une face du substrat qui soit opposée aux microstructures.

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