Electrically insulated strain gage

Details Electrically insulated strain gage Electrically insulated strain gage

G - Physics

01

L

G01L 1/22 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/12 (2006.01) H01L 29/84 (2006.01)

Patent

CA 2320857

An insulated strain gage (23) including a layer of semiconductive material (33) and a layer of insulating material (32), where a side of the first insulating layer (32) is disposed adjacent to a side of the semiconductive layer (33). A method of manufacturing the insulated strain gage includes the steps of forming an insulating layer (32) of insulating material, and depositing a semiconductive layer of semiconductive material on top of the first insulating layer (32). The bottom side of the semiconductive layer (33) is adjacent to a top side of the insulating layer (32). The insulated strain gage may be part of an apparatus for measuring strain on an object. The apparatus measures the strain on an object by translating deformations of the object resulting from an applied force into electrical signals. The apparatus includes a sensor (2), an insulated strain gage (22, 23), and a circuit (50, 51). The insulated strain gage includes an insulating layer and is bonded to the mechanical sensor by an adhesive (21). The circuit (50, 51) is connected to the insulated strain gage and receives signals indicating an electrical value of the insulated strain gage.

L'invention concerne une jauge de contrainte (23) isolée comprenant une couche de matière semiconductrice (33) et une couche de matière isolante (32), un côté de la première couche isolante (32) étant disposée de manière contiguë à un côté de la couche semiconductrice (33). Un procédé de fabrication de la jauge de contrainte isolée consiste à former une couche isolante (32) de matière isolante, puis à déposer une couche semiconductrice de matière semiconductrice au-dessus de la première couche isolante (32). Le côté inférieur de la couche semiconductrice (33) est contigu à un côté supérieur de la couche isolante (32). La jauge de contrainte isolée peut faire partie d'un appareil de mesure de la contrainte d'un objet. L'appareil mesure la contrainte d'un objet en transférant des déformations de l'objet provoquées par l'application d'une force dans des signaux électriques. L'appareil comprend un détecteur (2), une jauge de contrainte (22, 23) isolée et un circuit (50, 51). La jauge de contrainte isolée comprend une couche isolante et est collée au détecteur mécanique par un adhésif (21). Le circuit (50, 51) est connecté à la jauge de contrainte isolée et reçoit des signaux indiquant une valeur électrique de la jauge de contrainte isolée.

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