G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 5/20 (2006.01) H01L 31/0203 (2006.01)
Patent
CA 2732448
The invention relates to an electromagnetic radiation detector consisting of a plurality of elementary detection micro-sites each including a micro-detector provided with a diaphragm (2) sensitive to the radiation in question, and each being provided in a micro-cavity or micro-capsule defined by a substrate (1), by an upper wall (5) used as a window transparent to said radiation, and by side walls (4), wherein the diaphragm (2) is suspended above the substrate (1) using at least two supporting arms (6) including an electrically conducting layer (17), the ends of said arms (6) being anchored in the side walls (4).
Ce détecteur de rayonnement électromagnétique est constitué d'une pluralité de microsites de détection élémentaires comprenant chacun un micro-détecteur muni d'une membrane (2) sensible au rayonnement considéré, et reçu chacun dans une microcavité ou microcapsule, définie par un substrat (1), par une paroi supérieure (5) faisant fonction de fenêtre transparente audit rayonnement et par des cloisons latérales (4), ladite membrane (2) étant suspendue au dessus du substrat (1) au moyen d'au moins deux bras de soutien (6) comportant une couche (17) électriquement conductrice, les extrémités desdits bras (6) étant ancrées dans les cloisons latérales (4).
Brouillette & Associes/partners
Ulis
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1878981