H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 27/00 (2006.01) G11C 11/00 (2006.01) G11C 13/02 (2006.01) H01L 21/768 (2006.01) H01L 27/24 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2454834
Electromechanical circuits, such as memory cells, and methods for making same are disclosed. The circuits include a structure having electrically conductive traces (104) and supports (102) and nanotube ribbons (105) suspended by the supports that cross the electrically conductive traces, wherein each ribbon (105) contains one or more nanotubes.
L'invention concerne des circuits électromécaniques, par exemple des cellules de mémoire, et leurs procédés de fabrication. Les circuits comportent une structure constituée de traces électroconductrices et de supports s'étendant à partir d'une surface du substrat, et des rubans de nanotubes suspendus par des supports qui croisent les traces électroconductrices, chaque ruban comprenant au moins un nanotube. On fabrique les éléments de circuit électromécanique en fournissant une structure constituée de traces électroconductrices et de supports, lesdits supports s'étendant à partir d'une surface du substrat. Une couche de nanotubes est déposée sur les supports, et des parties de la couche de nanotubes sont sélectivement enlevées de façon à former des rubans de nanotubes qui croisent les traces électroconductrices. Chaque ruban comporte au moins un nanotube.
Brock Darren K.
Rueckes Thomas
Segal Brent M.
Nantero Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2049003