H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/66 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01) H01L 23/544 (2006.01)
Patent
CA 2406371
A test structure and a method for detecting early failures in a large ensemble of semiconductor elements, particularly applicable to on-chip interconnects, is provided. A novel approach to gain information about the statistical behavior of several thousand interconnects and to investigate possible deviations from perfect lognormal statistics is presented. A test structure having a Wheatstone Bridge arrangement and arrays of several hundred interconnects may be used to prove that failure data does not deviate from lognormal behavior down to a cumulative failure rate of approximately one out of 20,000. Typical test structure sizes may, therefore, be extended far beyond standard test procedures to gain information about the statistical behavior of failure mechanisms and to verify the validity of the assumption that failure mechanisms follow lognormal statistical behavior.
L'invention concerne une structure d'essai et un procédé de détection des défaillances précoces dans un grand ensemble d'éléments de semi-conducteur, applicable notamment aux interconnexions sur la puce. L'invention concerne également une nouvelle approche permettant de réunir des informations sur le comportement statistique de plusieurs milliers d'interconnexions et de rechercher d'éventuelles déviations par rapport aux statistiques log-normales parfaites. On peut utiliser une structure d'essai comportant un montage en pont de Wheatstone et des réseaux de plusieurs centaines d'interconnexions afin de prouver que les données de défaillance ne s'écartent pas du comportement log-normal pour descendre à un taux de défaillance cumulé équivalant à environ un sur 20.000. D'une manière générale, les tailles des structures d'essai peuvent donc aller bien au-delà des procédures d'essai standard afin de réunir des informations concernant le comportement statistique des mécanismes de défaillance et de vérifier la validité de l'hypothèse selon laquelle les mécanismes de défaillance adoptent un comportement statistique log-normal.
Gall Martin
Ho Paul S.
Goudreau Gage Dubuc
The Board Of Regents Of The University Of Texas System
LandOfFree
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