Electron beam array for surface treatment

Details Electron beam array for surface treatment Electron beam array for surface treatment

H - Electricity

01

J

H01J 33/00 (2006.01) B29C 71/04 (2006.01) H01J 5/18 (2006.01) H01J 33/04 (2006.01) B29C 35/08 (2006.01)

Patent

CA 2163554

An array of electron beam tubes (152, 156, 158) is mounted on a conduc- tive plate (91, 109, 123) for projecting stripe-like electron beam (163, 164, 165) through air onto a substrate (101) beneath the plate. The tubes each have a narrow beam window (51) formed by a very thin low-Z film layer (73), supported by silicon (71) and sealing the tube against ambi- ent pressure. Such windows produce low beam attenuation and allow low extrac- tion voltages to be used, thereby reducing beam energy which would otherwise be lost by penetration through a surface to be treated. The stripe-like output electron beam segments (113, 115) may be formed into a linear beam track so that the en- tire widthwise extent of a surface, such as a sheet or web (121), may be treated by electron beam irradiation or the beam segments may be formed into any desired composite beam pattern. In another em- bodiment the stripe-like output beam seg- ments may be arranged in an array to treat a circular circumferential surface, such as a cable.

Une rangée de tubes à faisceau électronique (152, 156, 158) est montée sur une plaque conductrice (91, 109, 123) de façon à projeter un faisceau d'électrons en forme de ruban (136, 164, 165) dans l'air, jusque sur un substrat (101) placé sous la plaque. Chacun des tubes dispose d'une fenêtre de rayonnement étroite (51) pratiquée dans une couche mince (73) en matière de nombre atomique faible. Cette couche mince est déposée sur du silicium (71) et protège le tube contre la pression ambiante. Ce type de fenêtre provoque une faible atténuation du rayonnement permettant ainsi l'emploi de basses tensions pour l'extraction. Cette technique réduit l'énergie du rayonnement qui, autrement, se dissiperait en pénétrant au travers de la surface à traiter. Les segments (113, 115) de rayonnement électronique, ainsi générés en forme de ruban, peuvent être disposés en une piste linéaire de rayonnement, ce qui permet, sur toute la largeur de la surface considérée, une feuille ou du tissu (121) par exemple, de procéder au traitement par irradiation par faisceau d'électrons. En outre, les segments de rayonnement peuvent être réorganisés selon toute configuration qui convient. Dans une autre réalisation, les segments de rayonnement générés en forme de ruban peuvent être disposés selon une grille convenant au traitement d'une surface cylindrique telle qu'un câble.

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