H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/26 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01)
Patent
CA 2286804
A charged particle-beam microcolumn, which for example may be used for charged particle microscopy, with a T-shape configuration has a relatively narrow base structure supporting the beam forming charged particle optical column. The narrow base structure permits the T-shaped microcolumn and sample to be positioned at an angle other than normal with respect to each other, which allows generation of three-dimensional-like images of the sample surface. Thus, the incidence angle of the charged particle beam generated by the T- shaped microcolumn may be varied while a short working distance is maintained. A conventional secondary/backscattered charged particle detector may be used because the reflected angle of the charged particles allows a charged particle detector separated from the T-shaped microcolumn. Further, the small size of the T-shaped microcolumn permits observation of different parts of a large stationary sample by moving the T-shaped microcolumn with respect to the sample. Moreover, multiple T-shaped microcolumns may be arrayed to improve throughput.
L'invention concerne une microcolonne à faisceau de particules chargées en forme de T pouvant être utilisée, par exemple, en microscopie à particules chargées, laquelle microcolonne présente une structure de base relativement étroite portant la colonne optique à particules chargées formant le faisceau. Cette structure de base étroite permet de positionner la microcolonne en forme de T et l'échantillon l'un par rapport à l'autre dans un angle autre que l'angle perpendiculaire, ce qui permet de produire des images de type tridimensionnelles de la surface de l'échantillon. Ainsi il est possible de faire varier l'angle d'incidence du faisceau de particules chargées produit par la microcolonne en forme de T tout en maintenant une distance de travail courte. Un détecteur conventionnel de particules chargées rétrodiffusées/secondaires peut être utilisé car l'angle réfléchi des particules chargées permet de séparer le détecteur de particules chargées de la microcolonne en forme de T. En outre, la petite taille de la microcolonne en forme de T permet d'observer différentes parties d'un grand échantillon fixe si l'on déplace la microcolonne en forme de T par rapport à l'échantillon. Enfin, les microcolonnes en forme de T peuvent être disposées en réseaux, ce qui améliore leur rendement.
Chang Tai-Hon P.
Kim Ho-Seob
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
Electron-beam microcolumn as a general purpose scanning... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Electron-beam microcolumn as a general purpose scanning..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Electron-beam microcolumn as a general purpose scanning... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1387797