Electron beam profile measurement method and system

Details Electron beam profile measurement method and system Electron beam profile measurement method and system

H - Electricity

01

J

H01J 9/42 (2006.01) H04N 17/04 (2006.01)

Patent

CA 2317398

In a method of measuring electron beam profile in an electronic display device (16), a matrix of video dots (24) is displayed on a display screen of the electronic display device, each of the video dots being comprised of a group (27) of phosphor dots (28) illuminated by an electron beam. An image of a plurality of groups of illuminated phosphor dots forming the video dots within a field of view is then taken. The average horizontal and vertical distances of the video dots within the field of view is determined and the groups of illuminated phosphor dots forming the video dots in the field of view that are captured in the image are superimposed based on the average horizontal and vertical distances of the video dots generally to average and fill in discontinuities between phosphor dots in the groups and thereby generate an overlay image (40) of the electron beam. Cross sections of the overlay image can be approximated and at least one intensity profile of the electron beam calculated. Overlay images (40) of each color electron beam can also be captured simultaneously and a convergence error calculated.

Procédé de mesure du profil d'un faisceau d'électrons dans un dispositif d'affichage électronique (16), selon lequel une matrice de points vidéo (24) est affichée sur un écran d'affichage du dispositif d'affichage électronique, chacun des points vidéo étant constitué d'un groupe (27) de luminophores (28) illuminés par un faisceau d'électrons. Une image d'une pluralité de groupes de luminophores illuminés formant les points vidéo dans un champ de vision est ensuite prise. Les distances moyennes horizontales et verticales des points vidéo dans le champ de vision sont déterminées et les groupes de luminophores illuminés formant les points vidéo dans le champ de vision qui sont saisis dans l'image sont superposés sur la base des distances moyennes horizontales et verticales des points vidéo, généralement pour établir la moyenne des discontinuités entre les luminophores dans les groupes et remplir lesdites discontinuités, et donc produire une image en surimpression (40) du faisceau électronique. Des sections transversales de l'image en surimpression peuvent être approximées et au moins un profil d'intensité du faisceau d'électrons peut être calculé. Des images en surimpression (40) de chaque faisceau d'électrons de couleur peuvent également être saisies simultanément, ce qui permet le calcul d'une erreur de convergence.

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