Electron beam stop analyzer

G - Physics – 01 – T

Patent

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Details

G01T 1/29 (2006.01) G01T 1/36 (2006.01) G21F 1/08 (2006.01) H05H 1/00 (2006.01) H05H 7/00 (2006.01)

Patent

CA 2196411

An electron beam stop (8) for use with high power electron beam accelerators (10) can be used to measure beam parameters including energy, current, scan width, scan offset and scan uniformity. The beam stop (8) is split in two segments (1, 2) in the direction of electron travel, with the first segment (1) closest to the beam source absorbing a portion of the electrons incident thereon and the second segment (2) farthest from the beam source absorbing all of the electrons that pass through the first segment (1). The ratio of charges deposited in the two segments (1, 2) is a sensitive index of the energy of the primary electrons, i.e., a measure of beam energy. The sum of the charges in the two segments is a direct measure of the number of electrons incident on the absorbing medium, i.e., a measure of the beam current.

L'invention concerne un écran d'arrêt (8) pour faisceau électronique utilisable avec des accélérateurs (10) de faisceau électronique à grande puissance. Ce dispositif peut être employé à mesurer des paramètres de faisceau tels que l'énergie et l'intensité du faisceau ainsi que la largeur, l'angle et l'uniformité du balayage. L'arrêt de faisceau électronique (8) se subdivise en deux segments (1, 2) dans le sens du parcours des électrons; le premier, qui est le plus proche de la source du faisceau, absorbe une partie des électrons qui lui sont incidents tandis que le second, plus éloigné de la source, absorbe tous les électrons ayant traversé le premier (1). Le rapport des charges déposées dans les deux segments (1, 2) constitue un indice sensible de l'énergie des électrons primaires, c'est-à-dire une mesure de l'énergie du faisceau. La somme des charges reçues par les deux segments constitue une mesure directe du nombre d'électrons tombant sur le milieu absorbeur, c'est-à-dire une mesure de l'intensité du faisceau.

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