H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 27/146 (2006.01) H01L 31/0203 (2006.01)
Patent
CA 2612058
The invention relates to an electron bombarded image sensor array device comprising a vacuum chamber having a photocathode capable of releasing electrons into said vacuum chamber when exposed to light impinging on said photocathode, a photocathode capable of releasing electrons into said vacuum chamber when exposed to light impinging on said photocathode, electric field means for accelerating said released electrons from said photocathode towards an anode spaced apart from said photocathode in a facing relationship to receive an electron image from said photocathode, said anode being constructed as a back-thinned image sensor array having electric connecting pads distributed according to a pattern along the surface area of said sensor facing away from said photocathode, a carrier on which said image sensor array is mounted, said carrier having electric connecting pads distributed according to a pattern to feed electric signals from said image sensor array outside said vacuum chamber and electric connecting means for electrically connecting at least one of said electric connecting pads of said image sensor array with at least one of said electric connecting pads of said carrier.
L'invention concerne un dispositif à réseau de capteurs d'images à bombardement d'électrons qui comprend: une chambre à vide pourvue d'une photocathode capable de libérer des électrons dans ladite chambre à vide sous l'effet de son exposition à un rayonnement électromagnétique incident; une photocathode capable de libérer des électrons dans ladite chambre à vide sous l'effet de son exposition à un rayonnement électromagnétique incident; un module de champ électrique pour accélérer lesdits électrons libérés par la photocathode vers une anode éloignée et opposée à ladite photocathode pour recevoir une image électronique de ladite photocathode, l'anode étant fabriquée sous forme de réseau de capteurs d'images à dos aminci présentant des plages de connexion électrique réparties suivant un motif précis sur la surface active dudit capteur opposé de ladite photocathode; un support sur lequel est monté le réseau de capteurs d'images, ce support présentant des plages de connexion électrique réparties selon un motif précis pour acheminer les signaux électriques du réseau de capteurs d'images vers l'extérieur de la chambre à vide; et enfin, un module de connexion électrique qui connecte électriquement au moins une plage de connexion électrique du réseau de détecteurs d'images à au moins une plage de connexion électrique du support.
Meinen Albert Hendrik Jan
Ruiter Gezinus
Tomuta Daniela Georgeta
Van Spijker Jan
Photonis-Dep B.v.
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1554567