H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 27/146 (2006.01) H01J 31/49 (2006.01)
Patent
CA 2612028
The invention relates to an electron bombarded image sensor array device comprising a vacuum chamber having a photocathode capable of releasing electrons into said vacuum chamber when exposed to electromagnetic radiation impinging on said photocathode, electric field means for accelerating said released electrons from said photocathode towards an anode spaced apart from said photocathode in a facing relationship to receive an electron image from said photocathode, said anode being constructed as an back thinned image sensor array having electric connecting pads and being mounted to a carrier using mounting means, said carrier having electric connecting pads to feed electric signals from said image sensor array finally outside said vacuum chamber. The invention also relates to an image sensor array to be used in such a device.
L'invention concerne un dispositif à réseau de capteurs d'images à bombardement électronique qui comprend une chambre à vide pourvue d'une photocathode capable de libérer des électrons dans ladite chambre à vide sous l'effet de son exposition à un rayonnement électromagnétique incident, ainsi qu'un module de champ électrique pour accélérer lesdits électrons libérés par la photocathode vers une anode montée face à ladite photocathode et à distance de celle-ci pour recevoir une image électronique de ladite photocathode. L'anode est fabriquée sous forme de réseau de capteurs d'images à dos aminci présentant des plages de connexion électriques et monté sur un support à l'aide d'éléments de montage. Ce support possède en outre des plages de connexion électrique qui acheminent les signaux électriques du réseau de capteurs d'images vers l'extérieur de la chambre à vide. Par ailleurs, l'invention concerne un réseau de capteurs d'images utilisé dans ce genre de dispositif.
Jan Meinen Albert Hendrik
Ruiter Gezinus
Tomuta Daniela Georgeta
Van Spijker Jan
Photonis-Dep B.v.
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1970050