H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/22 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01S 3/036 (2006.01)
Patent
CA 2261129
An electrostatic precipitator is provided within the housing (14) of a gas discharge laser (10), such as an exciter laser, to collect and trap dust particles generated in the course of laser operation. The precipitator comprises a plurality of spaced collector plates (12) mounted within the laser housing (14) for flow-through passage (38) of a lasing gas circulated by a fan (22) through a laser discharge zone (20) disposed between a pair of main electrodes (16, 18). The collector plates (12) are appropriately charged to define one precipitator pole, the opposite pole being defined by the laser discharge zone (20) and the ionization and fluorescent discharge associated therewith during laser operation. The collector plates (12) are shaped and spaced for changing the lasing gas flow direction and for reducing the flow velocity as the lasing gas circulates between the plates (12), to achieve enhanced electrostatic collection of dust. The collection plates (12) additionally include capture troughs (50, 52) for capturing duct particles that are attracted to the plate surfaces but otherwise not retained by electrostatic forces.
Un filtre électrostatique est disposé à l'intérieur d'un boîtier (14) d'un laser à gaz (10), tel qu'un laser excitateur, de façon à rassembler et à piéger les particules de poussière produites durant le fonctionnement dudit laser. Le filtre comprend une pluralité de plaques collectrices (12) disposées à distance les unes des autres, montées à l'intérieur du boîtier (14) de façon à constituer un passage direct (38) pour un gaz actif propulsé par un ventilateur (22) au travers d'une zone (20) de décharge laser située entre une paire d'électrodes principales (16, 18). Les plaques collectrices (12) sont chargées de la manière qui convient pour définir un seul pôle, le pôle opposé étant défini par la zone (20) de décharge laser et l'ionisation et la décharge fluorescente qui y sont associées durant le fonctionnement du laser. Elles ont une forme et un écartement leur permettant de modifier la direction et de réduire la vitesse d'écoulement du gaz actif qui circule entre elles, ce qui améliore le rassemblement électrostatique de la poussière. Elles comportent en outre des gouttières de capture (50, 52) permettant de capturer les particules de poussière qui sont attirées par la surface des plaques, mais qui autrement ne seraient pas retenues par les forces électrostatiques.
Smart & Biggar
Visx Incorporated
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1407196