H - Electricity – 02 – N
Patent
H - Electricity
02
N
H02N 13/00 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01)
Patent
CA 2346240
Provided is an electrostatic sensing chuck for attracting particles to a portion of a particle contact surface near a deposition electrode, the electrostatic sensing chuck comprising a pixel comprising: a deposition electrode (DE) for selectively establishing an attraction field (Ea) at the particle contact surface; a shield electrode (SE) oppositely biased with respect to the deposition electrode; a charge sensing circuit to measure charge accumulated on each of the deposition electrode and the shield electrode, wherein the charge sensing circuit subtracts a second charge it senses at the shield electrode from a first charge it senses at the deposition electrode, thereby determining accumulated charge at the deposition electrode balanced by accumulated charge at the shield electrode.
Ce support électrostatique capteur, servant à attirer des particules sur une partie d'une surface de contact pour particules près d'une électrode de dépôt, comprend un pixel comportant une électrode de dépôt (DE) destinée à former de manière sélective un champ d'attraction (E¿a?) à la surface de contact pour particules, une électrode bouclier (SE) à polarisation opposée par rapport à l'électrode de dépôt et un circuit de détection de charge servant à mesurer la charge accumulée sur l'électrode de dépôt et l'électrode bouclier. Ce circuit de détection de charge soustrait une seconde charge détectée dans l'électrode bouclier d'une première charge détectée sur l'électrode de dépôt, ce qui détermine une charge accumulée dans l'électrode de dépôt équilibrée par la charge accumulée dans l'électrode bouclier.
Desai Nitin V.
Keller David
Lang Frank B.
Ludington David N.
Mcginn Joseph T.
Delsys Pharmaceutical Corporation
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
Electrostatic sensing chuck using area matched electrodes does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Electrostatic sensing chuck using area matched electrodes, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Electrostatic sensing chuck using area matched electrodes will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1796398