G - Physics – 01 – P
Patent
G - Physics
01
P
G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) G01P 15/13 (2006.01)
Patent
CA 2168128
An accelerometer is fabricated by forming a proofmass (294, 295. 544) and at least one associated hinge (296, 522) in a silicon substrate (12, 112) by ion implantation and the formation of anoxide support layer (40, 42, 44) below the proofmass, subsequently integrally bonding two complementary proofmass (294, 295) and substrate structures (112) together, and then removing the oxide support layer (272) to leave the proofmass (294, 295) supported by the hinge (296) within the body of silicon material. The proofmass (300) may be electrically connected to a lead (174) extending through an etched recess (178) in one of the substrates; and the proofmass (294, 295, 300) may be electrically isolated or separated from the substrates (112) by an oxide layer (272) and by a change in conductivity type of the semiconductor material where the hinge (296) is structurally mounted to the substrates.
On fabrique un accéléromètre en formant une masse étalon (294, 295, 544) et au moins une charnière associée (296, 522) dans un substrat en silicium (12, 112) par l'implantation d'ions et la formation d'une couche de support en oxyde (40, 42, 44) au-dessous de ladite masse étalon. On colle ensuite de manière solidaire deux structures (112) de masses étalons (294, 295) et de substrats (112) complémentaires et on enlève la couche de support en oxyde (272) de manière à laisser la masse étalon (294, 295) supportée par la charnière (296) dans le corps du silicium. On peut connecter électriquement la masse étalon (300) à un conducteur (174) s'étendant à travers un évidement (178) formé par attaque dans un des substrats; on peut également isoler électriquement la masse étalon (294, 295, 300) ou la séparer des substrats (112) par une couche d'oxyde (272) et par un changement du type de conductivité du matériau à semiconducteurs à l'endroit où la charnière (296) est montée structuralement sur les substrats.
Litton Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1923424