G - Physics – 02 – F
Patent
G - Physics
02
F
G02F 1/01 (2006.01) G02F 1/065 (2006.01)
Patent
CA 2504128
Waveguide devices and schemes for fabricating waveguide devices useful in applications requiring modulation, attenuation, polarization control, and switching of optical signals are provided. In accordance with one embodiment of the present invention, a method of fabricating an integrated optical device is provided. The method comprises the acts of: (i) providing a support wafer (20) defining an electrode support surface; (ii) forming an electrode pattern (30) over the electrode support surface of the support wafer; (iii) forming a non-polymeric buffer layer (40) on at least a portion of the electrode pattern and over at least a portion of the support wafer; (iv) forming a waveguide core material layer (50) over the non-polymeric silica-based buffer layer; (v) removing portions of the core material layer (50) to define a waveguide core (52); and (vi) positioning a cladding material (60) in optical communication with the waveguide core such that the buffer layer, the cladding material, and the waveguide core define an optically-clad waveguide core.
L'invention concerne des dispositifs guides d'ondes et des programmes de fabrication de tels dispositifs utilisés dans des applications nécessitant modulation, atténuation, commande de polarisation et commutation de signaux optiques. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif optique intégré. Ledit procédé consiste (i) à fournir une plaquette support (20) définissant une surface de support d'électrode ; (ii) à former un motif d'électrode (30) sur la surface de support d'électrode de ladite plaquette; (iii) à former une couche tampon non polymère (40) sur au moins une partie du motif d'électrode et sur au moins une partie de la plaquette support ; (iv) à former une couche de matériau noyau (50) de guide d'ondes sur la couche tampon à base de silice non polymère ; (v) à enlever des parties de la couche de matériau noyau (50) pour définir un noyau de guide d'ondes (52) ; et (vi) à placer un matériau de gainage (60) en communication optique avec le noyau de guide d'ondes de façon que la couche tampon, le matériau de gainage et le noyau de guide d'ondes définissent un noyau de guide d'ondes à gaine optique.
Mcginniss Vincent
Nippa David W.
Ridgway Richard W.
Risser Steven M.
Shortridge Tim L.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Optimer Photonics Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1344972