Enhanced end effector arm arrangement for cmp pad conditioning

Details Enhanced end effector arm arrangement for cmp pad conditioning Enhanced end effector arm arrangement for cmp pad conditioning

B - Operations, Transporting

24

B

B24B 33/00 (2006.01)

Patent

CA 2614483

A CMP conditioning apparatus enhanced end effector arm for improving the reliability of the apparatus and the quality of the conditioning and polishing operations includes a conditioner head with features that provide for simplified alignment/attachment of a conditioning disk to the arm, while also providing a "quick release" mechanism for maintenance operations. The enhanced arm also includes an improved actuator that provides for a static friction ("stiction")-free movement of the arm and better control of the downforce applied by the conditioning disk to the polishing pad. A dual-drive pulley system is used within the enhanced end effector arm to minimize the tilting of the drive belts within the effector arm as the arm pivots to follow the contour of an "aging" polishing pad.

Bras effecteur terminal amélioré pour un appareil de traitement par planarisation mécano-chimique (CMP), destiné à améliorer la fiabilité de l'appareil et la qualité des opérations de traitement et de polissage, qui comporte une tête de traitement pourvue de systèmes permettant un alignement ou une fixation simplifiés d'un disque de traitement au bras, et fournissant également un mécanisme de libération rapide pour les opérations de maintenance. Ce bras amélioré comporte également un actionneur amélioré qui permet un mouvement exempt de frottement statique du bras et une meilleure régulation de la force orientée vers le bas appliquée par le disque de traitement sur le tampon de polissage. Un système de poulie à double entraînement est utilisé dans ce bras effecteur terminal amélioré pour réduire à un minimum l'inclinaison des courroies d'entraînement dans le bras effecteur lorsque le bras pivote pour suivre le contour d'un tampon de polissage "vieillissant".

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