G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 3/26 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01)
Patent
CA 2205875
A monolithically constructed infrared, tunable Fabry-Perot cavity filter- detector for spectroscopic detection of particular substances having an absorption line in the wavelength range from 2 to 12 microns. The filter- detector has a hermetically sealed Fabry-Perot cavity that has a mirror which has an adjustable distance relative to another mirror of the cavity. The former mirror is adjusted by piezoelectric film on the mirror support or with piezoelectric stacks or wall supporting the mirror. There may be electrodes situated near the mirrors for capacitive sensing of the distance between the mirrors. Light to be filtered and detected comes in through a window wafer which may have diffractive or refractive microlenses, plus an optional spatial filter. After passing through the window wafer, the light is filtered by the tunable mirrors of the Fabry-Perot cavity. The portion of the light that is passed by the cavity is detected by an infrared microbolometer or a CCD array. The cavity and detector are hermetically sealed in a vacuum.
Filtre-détecteur infrarouge accordable de Fabry-Pérot à cavité servant à la détection spectroscopique de substances particulaires présentant une raie d'absorption dans la bande des gammes d'ondes allant de 2 à 12 microns. Ledit filtre-détecteur comporte une cavité hermétiquement close pourvue d'un miroir placé à distance réglable d'un autre miroir également dans la cavité. Le premier miroir se règle à l'aide d'un film piézo-électrique sur son support ou d'empilements ou de parois piézo-électriques le supportant. On peut prévoir des électrodes situées à proximité des miroirs servant à l'évaluation capacitive de la distance les séparant. La lumière devant être filtrée et mesurée pénètre par une fenêtre munie ou non de microlentilles diffractrices ou réfractrices, et d'un filtre spatial éventuel. Après avoir traversé la fenêtre, la lumière est filtrée par les miroirs accordables de la cavité de Fabry-Pérot. La partie de lumière traversant la cavité est détectée par un microbolomètre IF ou par un dispositif à couplage de charge. La cavité et le détecteur sont hermétiques et placés sous vide.
Cole Barrett E.
Fritz Bernard S.
Horning Robert D.
Honeywell Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1478596