G - Physics – 01 – D
Patent
G - Physics
01
D
G01D 5/32 (2006.01) A61B 5/0215 (2006.01) A61B 5/03 (2006.01) G01D 5/353 (2006.01) G01L 11/02 (2006.01) G02B 6/10 (2006.01)
Patent
CA 2712097
A catheter with many fiber optic pressure sensors. The sensor diaphragm is formed from a wafer with a thin silicon layer and a silicon substrate layer separated by a silicon dioxide layer. A method includes masking and etching channels through the silicon substrate layer in a pattern of concentric circles to form a concentric circular etched channels and cylindrical unetched portions of the silicon substrate layer between the channels, exposing the silicon dioxide in the etched regions, and dissolving the exposed silicon dioxide to expose the crystalline silicon layer in the etched regions. The unetched cylindrical portion of the silicon substrate forms the diaphragm support element and the thin silicon layer forms the diaphragm. After applying a reflective coating to the exposed thin silicon layer, the support element face is adhered to the end face of a tubular housing, and a fiber optic probe is inserted in the tubular housing.
L'invention porte sur un cathéter pourvu de plusieurs capteurs de pression à fibre optique. Le diaphragme de capteur est formé à partir d'une tranche dont une couche de silicium mince et une couche de substrat de silicium sont séparées par une couche de dioxyde de silicium. Un procédé consiste à masquer et graver des canaux à travers la couche de substrat de silicium selon un motif de cercles concentriques pour former des canaux gravés circulaires concentriques et des parties non gravées cylindriques de la couche de substrat de silicium entre les canaux, exposer le dioxyde de silicium dans les régions gravées et dissoudre le dioxyde de silicium exposé pour exposer la couche de silicium cristallin dans les régions gravées. La partie cylindrique non gravée du substrat de silicium forme l'élément de support de diaphragme et la couche de silicium mince forme le diaphragme. Après application d'un revêtement réfléchissant sur la couche de silicium mince exposée, la face d'élément de support adhère à la face d'extrémité d'un logement tubulaire et une sonde à fibre optique est introduite dans le logement tubulaire.
Bucaro Joseph A.
Lagakos Nicholas
Mbm Intellectual Property Law Llp
The Government Of The United States Of America As Represented By The Se Cretary Of The Navy
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1569505