H - Electricity – 03 – H
Patent
H - Electricity
03
H
H03H 9/17 (2006.01) H03H 9/56 (2006.01) H03H 9/13 (2006.01)
Patent
CA 2283887
A film bulk acoustic wave device, comprising: a substrate; a bottom electrode formed on one surface of the substrate; a piezoelectric film formed on the bottom electrode; and a first top electrode formed on the piezoelectric film, further comprises a second top electrode having a larger mass load than the first top electrode, and formed on the first top electrode on the piezoelectric film when viewed from the center of the first top electrode, wherein the piezoelectric film has a high-band-cut-off-type dispersion characteristic. The cut-off frequency of a second top electrode portion piezoelectric film raving a large mass load can be lower than the cut-off frequency of a first top electrode portion piezoelectric film, to thereby trap the energy of the acoustic wave in a region of the first top electrode portion side, so that good performance may be feasible.
L'invention concerne un élément piézo-électrique à film mince comprenant un substrat, une électrode inférieure formée d'un côté du substrat, un film mince piézo-électrique formé sur l'électrode inférieure et une première électrode supérieure formée sur le film mince piézo-électrique, l'élément piézo-électrique à film mince comprenant en outre une deuxième électrode supérieure située à l'extérieur de la première électrode supérieure formée sur le film mince piézo-électrique lorsqu'on la regarde à partir du centre de la première électrode supérieure et possédant une charge massique supérieure à celle de la première électrode supérieure, le film mince piézo-électrique présentant des caractéristiques de dispersion de coupure passe-haut. La fréquence de coupure de la deuxième partie piézo-électrique d'électrode supérieure à charge massique élevée peut être établie à un niveau inférieur à la fréquence de coupure de la première partie piézo-électrique d'électrode supérieure et l'énergie de l'onde élastique peut être confinée dans une région de la première partie d'électrode supérieure, ce qui permet d'obtenir de bonnes performances.
Misu Koichiro
Nagatsuka Tsutomu
Wadaka Shusou
Marks & Clerk
Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1761910