Flat panel detector and image sensor

H - Electricity – 01 – L

Patent

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Details

H01L 27/146 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01) H01J 31/26 (2006.01) H01J 31/38 (2006.01)

Patent

CA 2210402

Flat panel image sensor (10) is provided by combining photoconductive imaging electrodes of a vidicon with a two-dimensional array of cold cathode field emitters (14) commonly used for flat panel field emission display (FED) systems. The FED operates normally to emit electrons which are accelerated in prior art displays towards a luminescent phosphor to generate light output proportional to the cathode emission. Rather than accelerating towards a phosphor, electrons are accelerated towards a photoconductor layer (16) to replace charge removed from the layer by an incident radiation pattern directed at the photoconductor layer (16) through a layer of transparent, electrically-conducting material (17) which serves as a radiation window. The transparent, electrically-conducting layer (17) may be partitioned to reduce stray capacitance for large area sensors and the partitioned, electrically-conducting layer (17) permits a parallel readout mode of operation.

L'invention décrit un capteur d'image (10) à écran plat obtenu en combinant des électrodes photoconductrices de formation d'images d'un tube vidicon avec une multibarrette d'émetteurs à émission par effet de champ (14) à cathode froide communément utilisés pour des systèmes d'affichage à émission par effet de champ à écran plat. Le système à émission par effet de champ fonctionne normalement en émettant des électrons qui, dans les affichages de l'état de la technique, sont accélérés vers un luminophore pour produire une intensité lumineuse proportionnelle à l'émission de la cathode. Au lieu d'être accélérés vers un luminophore, les électrons le sont vers une couche photoconductrice (16) pour remplacer les charges retirées de la couche par une combinaison de rayonnements incidents dirigés vers la couche photoconductrice (16) à travers une couche de matériau transparent électroconducteur (17) servant de fenêtre transparente au rayonnement. La couche transparente électroconductrice (17) peut être cloisonnée pour réduire la capacité parasite des capteurs à grande surface, ladite couche électroconductrice cloisonnée (17) permettant un mode de fonctionnement en lecture parallèle.

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