G - Physics – 02 – F
Patent
G - Physics
02
F
G02F 1/03 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) G02F 1/01 (2006.01) H01G 5/01 (2006.01) H01H 57/00 (2006.01) H01L 29/84 (2006.01) H05F 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2563406
An electrostatic actuator having a base (10) including a first electrode (20), and having a flexible membrane (50) including at least two material layers of different materials in contact with each other. At least one of the material layers includes a second electrode (40) electrically isolated from the first electrode. The flexible membrane includes a fixed end where the flexible membrane connects to the base and a free end opposite the fixed end. In the flexible membrane, the second electrode has at least first and second portions separated by a third portion an in combination defining a step provided in a vicinity of the fixed end. The first step is closest to the fixed end and separated by a shorter distance from the first electrode than the second portion. A stiffening member (310) can be disposed on the flexible membrane toward the free end of the flexible membrane. The electrostatic actuator can include an elongated orifice (420,320) extending through the base and extending along a direction away from the fixed end. The first electrode of the base can extends past an end of the second electrode of the flexible membrane in a direction defined toward the fixed end. The flexible membrane can include a peripheral or side cut out configured to communicate to an interior of the flexible membrane.
L'invention concerne une commande électrostatique comprenant une base dotée d'une première électrode et une membrane souple comprenant au moins deux couches de matériaux différents en contact l'une avec l'autre. Au moins une des couches de matériaux comprend une seconde électrode isolée sur le plan électrique de la première électrode. La membrane souple comprend une extrémité fixe au niveau de laquelle la membrane souple se connecte à la base et une extrémité libre, opposée à l'extrémité fixe. Dans la membrane souple, la seconde électrode comprend au moins des première et deuxième parties séparées par une troisième partie et définissant ensemble un gradin placé à proximité de l'extrémité fixe. Le premier gradin se trouve le plus près possible de l'extrémité fixe et est séparé de la première électrode par une distance plus courte que la deuxième partie. Un élément de raidissage, en tant que partie de la membrane souple, peut être disposé sur la membrane souple en direction de l'extrémité libre de la membrane souple. La commande électrostatique peut comprendre un orifice allongé s'étendant à travers la base et s'étendant le long d'une direction éloignée de l'extrémité fixe. La première électrode de la base peut s'étendre au-delà d'une extrémité de la seconde électrode de la membrane souple dans une direction définie en direction de l'extrémité fixe. La membrane souple peut comprendre une découpe périphérique ou latérale, aux fins de communication avec un intérieur de la membrane souple. Des connecteurs s'étendant de manière latérale peuvent connecter la base et l'extrémité fixe de la membrane souple le long d'une partie de la base, laquelle n'est pas connectée d'une autre manière à la membrane souple.
Dausch David E.
Goodwin Scott H.
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Research Triangle Institute
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2036094