Flexible silicon strain gage

Details Flexible silicon strain gage Flexible silicon strain gage

G - Physics

01

L

G01L 1/22 (2006.01) G01L 1/18 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01)

Patent

CA 2338744

A generally flexible strain gage comprising a strain sensing element, and a generally flexible substrate supporting the strain sensing element. The strain sensing element is made of single crystal or polycrystalline semiconducting material. The invention also includes a method for forming a generally flexible strain gage comprising the step of selecting a wafer having a portion of a base material and portion of a single crystal or polycrystalline semiconducting material located thereon. The method further comprises the steps of etching a strain sensing element out of the semiconducting material and forming a generally flexible substrate onto said sensing element.

On décrit une jauge dynamométrique généralement souple comprenant un capteur dynamométrique, et un substrat généralement souple servant de support au capteur dynamométrique. Le capteur dynamométrique est confectionné à partir d'un matériau semi-conducteur cristallin ou polycristallin simple. On décrit également un procédé de production d'une jauge dynamométrique généralement souple, qui consiste à choisir une plaquette dont une partie est constituée d'une planche isolante servant de support à une partie constituée d'un matériau semi-conducteur cristallin ou polycristallin simple. Le procédé consiste ensuite à graver un capteur dynamométrique à partir dudit matériau semi-conducteur pour former sur le capteur un substrat généralement souple.

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