Flip chip underfill system and method

H - Electricity – 01 – L

Patent

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Details

H01L 23/28 (2006.01) B05C 11/10 (2006.01)

Patent

CA 2232973

A system (30) for dispensing a viscous material onto a substrate (16) which includes a dispensing element (22), a viscous material reservoir (20) and a metering device (25) coupled between the reservoir (20) and the dispensing element (22) for metering a variable amount of a viscous material through the dispensing element (22). The dispensing element (22) and metering device (25) can be moved by a positioner (32) along a predetermined pattern adjacent a surface of a substrate (16). A weigh scale (52) located adjacent the substrate (16) receives a metered amount of the viscous material and produces signals representative of a variable weight of the material dispensed during a predetermined time interval. A controller (40) adjusts a speed of movement of the positioner (32) along the predetermined pattern to cause the dispensing element (22) to dispense a desired amount of material based on a calculated flow rate. Alternatively, the controller (40) adjusts a rate of delivery based on the calculated flow rate.

Un système (30) permet de distribuer une matière visqueuse sur un substrat (16) et comprend un distributeur (22), un réservoir de matière visqueuse (20) et un dispositif de mesure (25) couplé entre le réservoir (20) et le distributeur (22), pour mesurer une quantité variable d'une matière visqueuse devant traverser le distributeur (22). Le distributeur (22) et le dispositif de mesure (25) peuvent être déplacés par un dispositif de positionnement (32) le long d'un motif prédéterminé adjacent à la surface d'un substrat (16). Une balance (52), disposée à côté du substrat (16), reçoit une quantité mesurée de matière visqueuse et produit des signaux représentant un poids variable de matière distribuée pendant une durée déterminée. Un circuit de commande (40) règle la vitesse de déplacement du dispositif de positionnement (32) le long du motif prédéterminé pour que le distributeur (22) distribue une quantité souhaitée de matière en fonction d'un débit calculé. Une autre solution consiste pour ce circuit de commande (40) à régler la vitesse de distribution selon le débit calculé.

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