F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 16 – K
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
16
K
F16K 27/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
Patent
CA 2621258
A fluid controller without a dead volume, comprising a fluid passage having a loop-like passage part (L) and a first inlet passage part (B1), a second inlet passage part (B2), and a shared outlet passage part (B3) extending from the predetermined positions (P1), (P2) and (P3) of the loop-like passage part (L) to a first inlet (A1), a second inlet (A2), and a shared outlet (A3). A first opening/closing valve (V1) opening and closing the first inlet passage part (B1) and a second opening/closing valve (V2) opening and closing the second inlet passage part (B2) are installed in the fluid passage. Both a first fluid flowing from the first inlet (A1) to the loop-like passage part (L) and a second fluid flowing from the second inlet (A2) to the loop-like passage part (L) are discharged from the shared outlet (A3) after flowing through the loop- like passage part (L) separately from each other.
La présente invention concerne un régulateur de fluide dépourvu de volume mort qui comprend un passage de fluide doté d'une partie de passage en forme de boucle (L), une première partie de passage d'entrée (B1), une seconde partie de passage d'entrée (B2) et une partie de passage commune (B3) s'étendant des positions prédéterminées (P1), (P2) et (P3) de la partie de passage en forme de boucle (L) à une première entrée (A1), une seconde entrée (A2) et une sortie commune (A3). Une première valve d'ouverture/fermeture (V1) ouvrant et fermant la première partie de passage d'entrée (B1) et une seconde valve d'ouverture/fermeture (V2) ouvrant et fermant la seconde partie de passage d'entrée (B2) sont installées dans un passage de fluide. Un premier fluide s'écoulant de la première entrée (A1) vers la partie de passage en forme de boucle (L) et un second fluide s'écoulant d'une seconde entrée (A2) vers la partie de passage en forme de boucle (L) sont évacués par la sortie commune (A3) après s'être écoulés séparément l'un de l'autre par la partie de passage en forme de boucle (L).
Fetherstonhaugh & Co.
Fujikin Incorporated
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1725955