Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm...

G - Physics – 01 – L

Patent

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Details

G01L 9/12 (2006.01) G01L 7/08 (2006.01) G01L 19/06 (2006.01)

Patent

CA 2269214

A fluid pressure sensing unit (2) includes a re-usable portion (5) which is isolated from system fluids and a disposable portion (8). The disposable portion (8) includes an enclosure (11) that defines an internal cavity (35) with one wall of the enclosure (11) being constituted by a flexible diaphragm (25) that is exposed to operating pressure of the system. The re-usable portion (5) has mounted therein a sensing array (62) at a position adjacent to a non-system pressure side surface (66) of the diaphragm (25). The sensing array (62) includes a plurality of sensing elements (78-81) which are arranged as radial inner and outer sets (78, 79 and 80, 81) with each set being adapted to preferentially sense a deflection of a central portion of the diaphragm (25). An output signal representative of the fluid pressure in the fluid system is established based on a ratio of deflection signals from the sets (78,79 and 80, 81) of sensing elements (78-81). Preferably, the sensing elements (78-81) constitute capacitive plates that have equally exposed surface areas (84-87).

Cette invention concerne une unité (2) de mesure de la pression d'un fluide, laquelle comprend une partie réutilisable (5) isolée des fluides du système, ainsi qu'une partie jetable (8). La partie jetable (8) comprend une enceinte (11) définissant une cavité interne (35), l'une des parois de l'enceinte (11) se composant d'un diaphragme flexible (25) qui est exposé à la pression de fonctionnement du système. La partie réutilisable (5) contient un réseau de mesure (62), lequel est monté à proximité de la surface latérale (66) du diaphragme (25) qui n'est pas soumise à la pression du système. Le réseau de mesure (62) comprend plusieurs éléments de mesure (78 - 81) qui sont disposés en des ensembles radiaux internes et externes (78, 79 et 80, 81). Chaque ensemble est conçu de manière à détecter de préférence la déflexion de la partie centrale du diaphragme (25). Un signal de sortie, qui représente la pression du fluide dans le système de fluides, est établi en fonction du rapport entre les signaux de déflexion provenant des ensembles (78, 79 et 80, 81) d'éléments de mesure (78 - 81). Les éléments de mesure (78 - 81) consistent de préférence en des plaques capacitives dont les surfaces (84 - 87) sont exposées de manière identique.

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