Focused particle beam systems and methods using a tilt column

H - Electricity – 01 – J

Patent

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Details

H01J 37/305 (2006.01) H01J 37/30 (2006.01) H01L 21/263 (2006.01)

Patent

CA 2320149

Particle beam systems and methods for interacting with a workpiece according to this invention include a work stage assembly and a first particle beam source. The work stage assembly is adapted a) for supporting a workpiece, b) for translating along a first axis, c) for translating along a second axis perpendicular to the first axis, and d) for rotating about a third axis perpendicular to both the first axis and the second axis. The work stage assembly has a work stage axis substantially parallel to the third axis. The first particle beam source for interacting with the workpiece is supported by the work stage assembly. The first particle beam source has a first particle beam axis. In one embodiment, the first particle beam source is oriented so that the first particle beam axis forms an angle with the third axis. In another embodiment, the first particle beam source is tiltable from a first position, with the first particle beam axis substantially parallel to the third axis, to a second position, with the first particle beam axis forming an angle with the third axis. Thus, the particle beam system can etch and image a vertical cross section of the workpiece without offsetting the work stage axis from the third axis.

L'invention concerne des systèmes à faisceaux de particules et des procédés permettant d'interagir avec une pièce, les systèmes de cette invention comprenant un ensemble table porte-pièce et une première source de faisceaux de particules. L'ensemble table porte-pièce est conçu pour a) soutenir une pièce, b) coulisser le long d'un premier axe, c) coulisser le long d'un deuxième axe perpendiculaire au premier, et d) pivoter autour d'un troisième axe perpendiculaire au premier et au deuxième axes. L'axe de cet ensemble table porte-pièce est par ailleurs sensiblement parallèle au troisième axe, la première source de faisceaux de particules destinée à interagir avec ladite pièce reposant sur l'ensemble table porte-pièce. Dans un premier mode de réalisation, cette première source de faisceaux de particules, qui présente un premier axe de faisceaux de particules, est orientée de sorte que ce premier axe de faisceaux de particules forme un angle avec le troisième axe. Dans un autre mode de réalisation, la première source de faisceaux de particules peut basculer d'une première position, dans laquelle le premier axe de faisceaux de particules est sensiblement parallèle au troisième axe, à une seconde position, dans laquelle ce premier axe de faisceaux de particules forme un angle avec ledit troisième axe. Le système à faisceaux de particules de cette invention peut ainsi attaquer chimiquement et imager une section transversale verticale de ladite pièce, sans avoir à décaler l'axe de la table porte-pièce par rapport au troisième axe.

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