B - Operations – Transporting – 23 – K
Patent
B - Operations, Transporting
23
K
B23K 26/06 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01S 3/034 (2006.01) H01S 3/13 (2006.01)
Patent
CA 2173141
Full field mask illumination enhancement methods and apparatus for high power laser systems. Laser (20) emission is focused to a small area to pass through a small hole (24) in an end plate (26) in a highly reflective light pipe (28). The exit end of the light pipe (28) is imaged onto a telecentric lens (32) adjacent a mask or reticle (34), which mask or reticle (34) is highly reflective except where defining areas for ablation. Laser emission passing through the reticle (34) is imaged onto a workpiece (40), while light reflected by the reticle (34) substantially retraces either its own ray path or that of another ray impinging on the same area of the reticle (34). Light reflected back into the light pipe (28) generally misses the small hole (24) therein, most of it being repeated re- relected by the light pipe (28) and end plate (26) back to the reticle (34) to reuse the same by repeatedly bathing the reticle (34) in the laser emission.
Procédés et appareil améliorant l'illumination de masques plein champ, destinés à des systèmes laser très puissants. Le faisceau du laser (20) est focalisé sur une petite surface de manière à traverser un petit trou (24) prévu dans une plaque d'extrémité (26) située dans un conduit (28) de lumière fortement réfléchissant. L'extrémité de sortie du conduit (28) forme une image sur une lentille télécentrique (32) adjacente à un masque ou un réticule (34), ce dernier (34) étant fortement réfléchissant à l'exception des zones qu'il définit pour l'ablation. Le faisceau laser qui traverse le réticule (34) forme une image sur un élément à usiner (40) alors que la lumière réfléchie par le réticule (34) fait, en sens inverse, sensiblement son propre parcours de rayon ou celui d'un autre rayon qui heurte la même surface du réticule (34). La lumière réfléchie qui est renvoyée par le conduit (28) manque généralement le petit trou (24) formé dans ce dernier, la plus grande partie de cette lumière étant, de façon répétée, de nouveau réfléchie par le conduit (28) et la plaque d'extrémité (26) et renvoyée vers le réticule (34) afin de pouvoir être réutilisée, le réticule (34) étant inondé, de façon répétée, par le faisceau laser.
Cymer Inc.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1883485