Gas delivery at high flow rates

Details Gas delivery at high flow rates Gas delivery at high flow rates

G - Physics

05

D

G05D 23/00 (2006.01) F17C 3/00 (2006.01) F17C 7/00 (2006.01) F17C 9/02 (2006.01) F17C 13/02 (2006.01) F24H 1/18 (2006.01) F24H 9/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)

Patent

CA 2433901

This invention is directed to a method for delivering a liquefied compressed gas with a high rate of flow comprising passing a liquefied compressed high- purity semiconductor gas into a storage vessel; positioning a temperature measuring means onto the wall of the compressed gas storage vessel; positioning at least one heating means proximate to the storage vessel; monitoring the resulting temperature with the temperature measuring means; positioning a pressure measuring means at the outlet of the storage vessel and monitoring the vessel pressure; adjusting the heat output of the heating means to heat the liquefied compressed gas in the storage vessel to control the evaporation of the liquefied compressed gas in the storage vessel; and controlling the flow of the gas from the storage vessel.

L'invention concerne un procédé d'apport de gaz comprimé liquéfié à débits élevés consistant à passer un gaz à semi-conducteur de haute pureté comprimé et liquéfié dans un récipient de stockage; à positionner des moyens de mesure de température sur la paroi du récipient de stockage de gaz comprimé; à positionner au moins un moyen de chauffage à proximité du récipient de stockage; à réguler la température résultante avec les moyens de mesure de température; à positionner des moyens de mesure de pression au niveau de la sortie du récipient de stockage et à réguler la pression du récipient; à ajuster la sortie de chaleur des moyens de chauffage afin de chauffer le gaz comprimé liquéfié dans le récipient de stockage en vue de surveiller l'évaporation du gaz comprimé liquéfié dans le récipient de stockage; et à surveiller l'écoulement du gaz à partir du récipient de stockage.

Affiliated with

Also associated with

Rating

Gas delivery at high flow rates does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.

If you have personal experience with Gas delivery at high flow rates, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Gas delivery at high flow rates will most certainly appreciate the feedback.

Rate now

Comments { 0 }

Profile ID: LFCA-PAI-O-2074849