H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/104 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
Patent
CA 2194629
A laser control system with multiple CPU's having shared memory on a common bus to provide high performance, relatively lost-cost, laser control. In the system disclosed, a first CPU which handles most, if not all, communication to and from the laser control system and which may communicate with one or more additional CPU's through the shared memory, so as to be capable of providing the software and operating commands to one or more additional processors on the common bus. A second processor is provided to control the intensity and repetition rate of a gas laser responsive to the program and commands made available thereto through the shared memory by the first processor. In addition, the second processor may directly respond to specific controls provided thereto to allow operation of the laser directly in response to control signals provided thereto from the outside, rather than based on parameters provided thereto by the first processor. Additional processors may beprovided on the common bus for other common, typically dedicated functions. The use of shared memory on a common bus for communication between processors allows automatic operation of a laser system through communication with only a single processor, simplifying system initialization and implementation of software updates. The controller is configured around a popular bus structure to make maximum use of commercially available board level subsystems to provide a highly versatile laser controller without requiring substantial and expensive special circuit board design and fabrication. -16-
'invention est un système de contrôle laser avec plusieurs unités centrales (UCT) ayant une mémoire partagée sur un bus commun de manière à assurer un contrôle laser très performant et à un coût relativement faible. Dans le système dévoilé, il y a une première unité centrale qui traite la plupart des communications, sinon toutes, avec le système de contrôle laser et qui peut communiquer avec une ou plusieurs autres unités centrales au moyen de la mémoire partagée afin de donner les commandes d'exploitation et de logiciel à un ou à plusieurs processeurs sur le bus commun. Un second processeur permet de contrôler l'intensité et le taux de répétition d'un laser à gaz qui réagit au programme et aux commandes rendues accessibles dans la mémoire partagée par le premier processeur. En outre, le second processeur peut répondre directement à des commandes spécifiques permettant de faire fonctionner directement le laser en réponse aux signaux de contrôle provenant de l'extérieur plutôt que d'après des paramètres fournis par le premier processeur. D'autres processeurs peuvent être fournis dans le bus commun pour d'autres fonctions communes et spécialisées. L'utilisation de la mémoire partagée sur bus commun pour établir la communication entre les processeurs permet au système laser de fonctionner automatiquement grâce à la communication avec un seul processeur, ce qui simplifie l'initialisation du système et l'implantation des mises à jour des logiciels. Le contrôleur est configuré selon une structure de bus courante pour maximiser l'utilisation de sous-systèmes à cartes offerts sur le marché, ce qui donne un contrôleur laser extrêmement polyvalent sans nécessiter une conception et une fabrication, importantes et coûteuses, de cartes de circuits spéciales.
Mixon Curtiss Lynn
Nair Ralph Kenneth II
Cymer Inc.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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