H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C30B 25/12 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01)
Patent
CA 2478624
A gas driven rotation apparatus for use with a flow of drive gas includes a base member having an upper surface, a main platter overlying the upper surface of the base member, and a satellite platter overlying the main platter. The apparatus is adapted to direct the flow of drive gas between the upper surface of the base member and the main platter such that the main platter is rotated relative to the base member by the flow of drive gas. At least a portion of the flow of drive gas is directed from between the upper surface of the base member and the main platter to between the main platter and the satellite platter such that the satellite platter is rotated relative to the main platter by the at least a portion of the flow of drive gas.
La présente invention concerne un appareil de rotation à gaz conçu pour être utilisé avec un flux de gaz d'entraînement, qui comprend un élément de base ayant une surface supérieure, un disque principal recouvrant la surface supérieure de l'élément de base et un disque satellite recouvrant le disque principal. L'appareil est conçu pour diriger le flux de gaz d'entraînement entre la surface supérieure de l'élément de base et le disque principal de sorte que ce dernier soit entraîné en rotation par rapport à l'élément de base par le flux de gaz d'entraînement. Au moins une partie du flux de gaz d'entraînement est dirigée de l'espace situé entre la surface supérieure de l'élément de base et le disque principal vers l'espace situé entre le disque principal et le disque satellite de sorte que le disque satellite soit entraîné en rotation par rapport au disque principal par au moins une partie du flux du gaz d'entraînement.
Paisley Michael James
Sumakeris Joseph John
Cree Inc.
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1435207