Gas gate for isolating regions of differing gaseous pressure

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

C23C 16/00 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01) C23F 1/00 (2006.01) C25B 13/00 (2006.01) C25C 7/04 (2006.01)

Patent

CA 2514858

Disclosed herein is an improved gas gate for interconnecting regions of differing gaseous composition and/or pressure, more particularly between atmosphere and a vacuum. The gas gate includes a cylinder within a housing situated between the regions of differing gaseous pressure. A web of substrate material is adapted to move between the regions with at least one roller in the first region and at least one roller in the second region. The rollers are positioned to create sufficient tension as the web advances over the top peripheral portion of the cylinder between the two regions or under the bottom peripheral portion of the cylinder between the two regions. In an exemplary embodiment, the gas gate is characterized by the height of the passageway between the top plate of the housing and web of substrate advancing over the top peripheral portion of the cylinder and the height of the passageway between the bottom plate of the housing and the bottom peripheral portion of the cylinder. The flow rate of the gas therethrough provides for transonic flow of the gas between the cylinder inlets and at least one of the two interconnected regions, thereby effectively isolating one region, characterized by one composition and pressure, from another region, having a differing composition and/or pressure, by decreasing the mean-free-path length between collisions of diffusing species within the transonic flow region.

L'invention concerne une barrière de gaz améliorée servant à relier des zones présentant une composition et/ou une pression gazeuse différente, plus particulièrement entre l'atmosphère et un vide. La barrière de gaz selon l'invention comprend un cylindre disposé à l'intérieur d'un logement situé entre les zones présentant une pression gazeuse différente. Une bande de matériau substrat est conçue pour se déplacer entre lesdites zones au moyen d'au moins un rouleau dans la première zone et d'au moins un rouleau dans la deuxième zone. Les rouleaux sont disposés de sorte à créer une tension suffisante à mesure que la bande avance sur la partie périphérique supérieure du cylindre, entre les deux zones ou sous la partie périphérique inférieure du cylindre située entre les deux zones. Dans un mode de réalisation, la barrière de gaz se caractérise par la hauteur du passage entre la plaque supérieure du logement et la bande de substrat s'avançant sur la partie périphérique supérieure du cylindre et la hauteur du passage entre la plaque inférieure du logement et la partie périphérique inférieure du cylindre. Le débit du gaz produit un écoulement gazeux transsonique entre les ouvertures du cylindre et au moins une des deux zones reliées, ce qui permet d'isoler efficacement une zone caractérisée par une certaine composition et une certaine pression d'une autre zone présentant une composition et/ou pression différente, par la réduction de la longueur de libre parcours moyen entre les collisions d'espèces diffusantes à l'intérieur de la zone d'écoulement transsonique.

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